자가 구동 압저항 캔틸레버

(piezo-resistive self-actuated cantilever)  ​

 

자가 구동 압저항 캔틸레버는 시스템 통합을 용이하게 하고 시스템 무게를 크게 줄여줍니다. 이를 통합한 현미경은 높은 분해능, 이미징 처리량 그리고 리소그래피 및 계측 자동화를 구현할 수 있게 합니다. 이러한 캔틸레버의 기술적 특징은 다음과 같이 요약될 수 있습니다.

• 온도 드리프트를 보정하는 브릿지 회로를 적용하여 압저항 감도를 크게 향상시킵니다.

• 작고 부드러우며 신호대비잡음비(signal-to-noise ratios)가 높은 디자인을 채택하여 원자 스케일 분해능을 유지하면서 고처리량(high-throughput) 성능을 나타냅니다.

• 판독(readout) 및 작동(actuation) 기능을 캔틸레버 위에서 구현하여 (on board) 초소형 캔틸레버 제작을 가능하게 합니다.

 

필드 방출 주사 프로브 리소그래피(FE-SPL, Field Emission-Scanning Probe Lithography)의 경우, 프로브는 현장 검사 기능(in situ inspection), 높은 분해능의 정량적 매핑(quantitative mapping at unprecedented resolution), 그리고 통합 오버레이 정렬 시스템(integrated overlay alignment system)을 지원합니다.