AFM Standard Cantilever
Active AFM Cantilever (AFM-CL)
Piezoresistive read-out기능을 갖춘 프로브는 재현 가능한 원자 분해능 이미징을 가능하게 합니다. "프로브에" 통합된 Thermomechanical actuator는 공진 주파수와 7개 이상의 고유 모드를 통해 캔틸레버를 여기시킬 수 있습니다. 이는 기계적 AFM 설정에 어떠한 간섭도 없이 정적 변위를 가능하게 합니다. 판독 기능의 Piezoresistive Wheatstone bridge configuration과 고유한 설계는 효과적인 온도 및 액추에이터 Crosstalk compensation을 가능하게 합니다. Thermomechanical actuation은 다양한 박막층으로 구성된 다층 구조를 기반으로 합니다. 층 간의 열팽창 계수 차이로 인해 복합층의 차등 확장으로 인해 캔틸레버가 휘어집니다. 이러한 맥락에서, 캔틸레버 팁의 변위는 내장된 박막 금속 저항에서 소모되는 전력을 통해 정밀하게 제어될 수 있습니다. Nano analytik GmbH는 고객을 위해 고속 AFM 응용 분야에 적합한 High-bandwidth 및 Low-noise performance을 갖춘 Small form-factor preamplifiers 시리즈를 개발했습니다. Preamplifier module은 질량이 작고 샘플 및 캔틸레버 스캐닝 구성으로 모든 AFM 헤드에 통합될 수 있습니다.
*캔틸레버 구조 및 사양
AFM Omega Cantilever
• Ultrasensitive readout: 초고감도 측정 기능
• Integrated thermoelectrical actuator: 통합 열전 액츄에이터를 통한 차세대 능동형 캔틸레버
Highlight features:
• Significantly higher signal strength
• Improved signal-to-noise ratio
• Enhanced deflection sensitivity — even under moderate loading forces
Typical applications
반도체 R&D, 물리학, 화학 또는 재료 과학 등 어떤 분야에서도 다음과 같은 분야의 작업을 수행하는 데 도움을 줍니다.
• Explore nanometer-scale surfaces faster
• Perform tip-scanning in air, vacuum, or liquid environments
• Investigate previously unresolvable phenomena
AFM Omega Cantilever
자가 구동 압저항 캔틸레버
(piezo-resistive self-actuated cantilever)
자가 구동 압저항 캔틸레버는 시스템 통합을 용이하게 하고 시스템 무게를 크게 줄여줍니다. 이를 통합한 현미경은 높은 분해능, 이미징 처리량 그리고 리소그래피 및 계측 자동화를 구현할 수 있게 합니다. 이러한 캔틸레버의 기술적 특징은 다음과 같이 요약될 수 있습니다.
-
온도 드리프트를 보정하는 브릿지 회로를 적용하여 압저항 감도를 크게 향상시킵니다.
-
작고 부드러우며 신호대비잡음비(signal-to-noise ratios)가 높은 디자인을 채택하여 원자 스케일 분해능을 유지하면서 고처리량(high-throughput) 성능을 나타냅니다.
-
판독(readout) 및 작동(actuation) 기능을 캔틸레버 위에서 구현하여 (on board) 초소형 캔틸레버 제작을 가능하게 합니다.
필드 방출 주사 프로브 리소그래피(FE-SPL, Field Emission-Scanning Probe Lithography)의 경우, 프로브는 현장 검사 기능(in situ inspection), 높은 분해능의 정량적 매핑(quantitative mapping at unprecedented resolution), 그리고 통합 오버레이 정렬 시스템(integrated overlay alignment system)을 지원합니다.