Paper: Single dopant atom lithography

• 양자 컴퓨팅을 위한 단일 원자 소자 및 스핀 기반 큐비트 제작

• 단일 도펀트 원자를 정확한 위치에 주입하는 기술은 고체 양자 컴퓨팅에 필요한 기본 소자의 제작 및 그 물성을 정밀하게 조정하게 함.

• 개별 원자를 결정론적으로 위치시키는 기술은 단일 또는 소수 원자 트랜지스터, 단일 전자 트랜지스터, 또는 다양한 양자 감지 소자를 3차원 구조 아래 제작하는 데 필요한 핵심 기술.

• 이온 빔과 주사 프로브의 통합으로 수 나노미터 정확도로 이온 빔을 소자 형상에 정렬하는 동시에 타겟의 비파괴 이미징을 가능하게 함.