•nano analytik GmbH의 AFMinSEM은 나노 가공, 상관 현미경, 품질 관리, 계측, 고장 분석 및 재료 과학을 결합하여 SEM의 기능을 다양한 연구 응용 분야에 쉽게 확장할 수 있도록 합니다. SEM 챔버를 환기시키거나 시료를 오염시키지 않고도 연구 프로그램을 완료하는 데 최적의 조건을 제공합니다.

•AFMinSEM 설계의 가장 큰 이점 중 하나는 일상적인 나노스케일 연구의 공간 분해능 향상입니다. SEM과 AFM은 서로 보완적입니다. 사용자는 SEM을 사용하여 관심 영역을 식별한 후 AFM으로 3차원에서 나노미터 미만의 분해능으로 측정합니다. SEM/FIB와 함께 AFM을 상관 나노 가공에 사용할 수 있습니다.